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Pour plus de détails sur la méthode d'analyse de front d'onde de Shack Hartmann, vous pouvez consulter cet article.

Le bilan d'incertitude (méthode GUM) est disponible au téléchargement :

Bilan d'incertitude

Mesure d'état de surface :

Airylab a developpé une procédure pour la mesure des défauts de surface des composants plans ou à faible courbure. Cette mesure peut être faite par réflexion ou par transmission.

La surface mesurée par passage va de 1 à 6mm de large pour un échantillonnage spatial à partir de 19µm par point de mesure.

Voici deux exemples illustrant ces mesures.

Le premier exemple montre un défaut de coating sur un miroir plan. Le manque d'aluminure a une largeur de 0,5mm pour une profondeur de 60nm.


Le second exemple montre un defaut d'une profondeur comprise entre 15 et 25nm.


Notes sur la répétabilité des mesures.

Le Shack Hartmann permet des mesures très précises et est très robuste face aux conditions environnementales de vibrations et de mouvements d'air. La reproductibilité et la répétabilité sont également très élevées.

Le montage suivant permet d'observer en même temps la PSF réelle et celle reconstituée par le Haso :

PSF

Mis côte à côte, il est possible de constater la fidélité de reconstitution de la PSF par le Haso (cadence réelle, 10 fois par seconde).